在保证大量ppm级产品的品质前提下，随着生产技术的进步，为了实现不良品不发货，实施全面检测。LSI等自身具有庞大的构成要素的集合体也要全面检测。还有移动电话等消费类产品也包括液晶显示元件，庞大的构成要素的集合体进行全面检测。
微型接触式探头是实现低成本全面检测的关键部件。 下面我们概述了纳米微米世界的一角，微探针技术及其弹簧。
（1）微型接触式探针的尖端技术
※ 出自：羽贺、其他；微型接触探针的开发、研究专题集No17
【照片1】是普通微型探针最小尺寸的一个例子。 右侧是0.5毫米自动铅笔芯。 旁边是一个外径为0.3毫米的微型探针。 左边是螺旋弹簧针座和前端的探针。
【照片2】是螺旋弹簧座内有线径75μm的微型压缩螺旋弹簧。可以保证10万次的疲劳强度。
【照片3】是用LIGA工艺制造的LSI测试用的微型探头（参照【图2】）。 整体形状如【图1】。 该材料通过使用微结构Ni-Mn合金（Hv：620，杨氏模量：200GPa）的电铸来生产。
※ 出自：同上
（2）微型接触式探针单元的设计要点
在采用这种微型探针的接触探针单元的设计中，微型接触式探针在检查工件移动作业时，防止探针损伤的安全机构是非常重要的。
下一讲，我们谈谈低成本自动化未来前景的参考信息。
